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基于于團(tuán)隊成員的多年研發(fā)經(jīng)驗，我們發(fā)展和制造了 MBE分子束外延系統(tǒng)及各種功能的源爐。每個產(chǎn)品都是由MBE專業(yè)人才進(jìn)行組裝和測試的。
MBE分子束外延系統(tǒng)是為了在6英寸襯底上生長高質(zhì)量的III/V族或者II-VI族異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料而研發(fā)的。樣品臺選用熱解石墨加熱或者鎢、鉭加熱絲。MBE系統(tǒng)是公認(rèn)的非常適合于III/V族， II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料生長應(yīng)用研發(fā)與生產(chǎn)。
MBE分子束外延系統(tǒng)的主要特點是極高的可靠性和普適性。標(biāo)準(zhǔn)的Octoplus 500有11個呈放射狀分布的源孔，可以根據(jù)需要增選3個源孔。快速抽真空進(jìn)樣室配有水平磁力桿傳輸系統(tǒng)，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下，簡便地進(jìn)行樣品傳輸。
MBE分子束外延系統(tǒng)的主要參數(shù)規(guī)格：
● ID 550 mm
● 應(yīng)用于III/V族， II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料
● 大晶片6英寸，或7x2英寸晶片
● 進(jìn)樣室和緩沖腔室
● 線性樣品傳輸系統(tǒng)
● 標(biāo)準(zhǔn)法蘭孔數(shù)目(標(biāo)準(zhǔn)11個，可按要求增加3個)
● 束流源，氣體源，樣品臺
● 抽真空系統(tǒng)(離子吸附泵，分子泵，低溫泵等)
● 原位表征能力
● 軟件/硬件控制系統(tǒng)
● 額外要求可定制
