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產品詳情
簡單介紹：
激光分子束外延系統的特點：標準的Octoplus 500有11個呈放射狀分布的源孔，可以根據需要增選3個源孔。快速抽真空進樣室配有水平磁力桿傳輸系統，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下，簡便地進行樣品傳輸。
詳情介紹：
激光分子束外延系統的優勢：
1. 由脈沖激光做濺射源，將預外延材料原子濺射出來在襯底外延沉積得到單晶薄膜，RHEED電子槍做原位監測；
2. 可放多塊不同尺寸靶材, 靶臺可公自轉，靶基距連續可調；3. 樣品臺襯底可自轉，可加熱．
激光分子束外延系統的主要參數規格：
● ID 550 mm
● 應用于III/V族， II/VI族或其他異質結構材料
● 大晶片6英寸，或7x2英寸晶片
● 進樣室和緩沖腔室
● 線性樣品傳輸系統
● 標準法蘭孔數目(標準11個，可按要求增加3個)
● 束流源，氣體源，樣品臺
● 抽真空系統(離子吸附泵，分子泵，低溫泵等)
● 原位表征能力
● 軟件/硬件控制系統
● 額外要求可定制